西门子收购 Canopus:引入“AI 显微镜”技术,让造芯更准、更快

淘百科 百科资讯 1

2 月 5 日消息,西门子(Siemens)昨日(2 月 4 日)发布公告,宣布收购法国初创公司 Canopus AI,通过引入计算量测(Computational Metrology)和检测技术,强化其 Calibre 晶圆制造软件生态。

据西门子透露,该笔交易实际上已于 2026 年 1 月 12 日完成交割。尽管官方未披露具体金额,但业界估算交易额约在 1.5 亿至 3 亿欧元(注:现汇率约合 12.31 亿至 24.62 亿元人民币)之间。

Canopus AI 是一家总部位于法国格勒诺布尔的创新企业,成立于 2021 年,专注于利用机器学习和人工智能技术优化半导体量测与检测流程。

Canopus AI 面向量测与检测领域的机器学习及人工智能技术,通过量测边缘放置误差(EPE),优化晶圆制造仿真模型

Canopus AI 在行业内开创性地提出了“Metrospection”理念。该理念旨在搭建一个全面的软件框架,利用 AI 技术打通传统晶圆量测与检测之间的技术壁垒,通过其特有的 Mapbox 类查看器,用户可以交互式审查关键尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)图像及大批量制造数据。

面对器件尺寸微缩和产能扩大的双重挑战,大规模量测已成为保障先进制程良率的关键。西门子计划将 Canopus AI 的技术与其 Calibre 产品组合中的“计算光刻”及“制造物理仿真”能力深度整合。

Canopus AI 网页版 Mapbox 类查看器,支持关键尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)图像、HVM(大批量制造)Oasis 及计量检测数据的交互审查。

通过这种互补,西门子将提供一套具备差异化的端到端 EDA 解决方案。这不仅能提升晶圆图形成像的保真度,还能通过精准测量边缘放置误差(EPE),帮助制造商实现亚纳米级的工艺控制。

西门子数字化工业软件总裁 Tony Hemmelgarn 强调,此次收购彰显了西门子用工业 AI 解决制造挑战的决心。整合后的技术将助力半导体企业缩短先进制程节点的量产周期,并加速良率爬升。